Материалы

Карбид кремния (SiC)

Карбид кремния (SiC) — покрытия и объёмный материал, полученные химическим осаждением из газовой фазы (CVD).

Карбид кремния обладает превосходной термической устойчивостью и химической инертностью. Обычные применения — это оснастка для печей, зеркальная оптика, оптические фильтры, микроэлектроника.

Покрытие графитовых деталей карбидом кремния позволяет продлить срок их службы и существенно снизить стоимость производства с их участием.

Типичная толщина покрытия 20-40 мкм.

Однородность покрытия ±10%.

Плотность теоретическая.

Уникальная конструкция печи осаждения карбида кремния позволяет воспроизводимо получать однородные покрытия на графите.

Пиролитический нитрид бора (PBN)

Пиролитический нитрид бора (PBN), полученный химическим осаждением из газовой фазы (CVD).

Компоненты, покрытые нитридом бора, химически инертны в том числе при высоких температурах. Анизотропные покрытия из нитрида бора обладают совокупностью уникальных свойств: высокая теплопроводность и удельное электросопротивление. Преимущество процесса химического осаждения — экстремально высокая чистота получаемого материала и возможность нанесения на детали сложных форм.